主要特點
l 質量流量混比法
l 精度高、重復性好
l 800×480 TFT觸控屏
l 全進口氣路快插件，使用方便
l 具備自校準功能，自動修正流量體積
l 稀釋氣體可多選，目前支持：SF6、N2、O2、Air等
l 可配置多組分氣體，目前可支持3種組分混比氣
l 具備程控配氣方式，可在特定時間段內輸出特定成分氣體
技術參數
流量范圍 | 配氣通道0～150mL/min，平衡通道0～600mL/min |
準 確 度 | ±1.0% F.S |
重 復 性 | ±0.2% F.S |
zui大輸出流量 | 1000ml/min |
zui小輸出流量 | 2% F.S |
zui大稀釋比 | 200：1 |
工作電源 | AC 220V/50Hz |
工作環境 | 環境溫度：-20℃～60℃ 相對濕度：0～90%RH |
管道連接 | 高級特氟龍管快插連接 減壓閥：* |
尺 寸 | 約470mm×370mm×240mm |
